二次离子质谱(SIMS)的表面分析和深度剖析
二次离子质谱SIMS是一种检测固体表面及近表面的成分信息的技术,几乎能够分析任何真空下稳定的固体,其不仅能够做到从H到U的全元素及同位素分析,同时还可以分析原子团和官能团,并可以对固体进行微区分析成像和深度动态剖析。
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2022-06-14